Is éard atá i dtrealamh sputtering maighnéad na codanna seo a leanas: Is iad na codanna seo a leanas:
1. Sprioc -Ábhar: An phríomhchuid de threalamh sputtering maighnéad, a dhéantar de ghnáth as miotail, as cóimhiotal agus as ábhair eile.
2. Seomra Fholúis: Ní mór timpeallacht oibriúcháin an trealaimh sputtering maighnéada a dhéanamh faoi choinníollacha folúis arda, agus tá ról ag an seomra folúis i bhfolús a chothabháil.
3. Córas maighnéada: Úsáidtear an réimse maighnéadach chun an bombardú ian a rialú ar dhromchla an sprioc -ábhair chun sputtering a chur faoi deara.
4. Fráma an tsubstráit: a úsáidtear chun tacú leis an ábhar foshraithe atá le próiseáil.
5. Córas Teasa: I gcásanna áirithe, ní mór an spriocábhar agus an tsubstráit a théamh chun an próiseas sputtering a rialú.
