Is iondúil go mbíonn na príomhchéimeanna seo a leanas i sreabhadh oibre meaisín sciath optúil: réamhchóireáil, sciath, monatóireacht agus coigeartú scannán, fuarú agus baint. Féadfaidh an próiseas sonrach a bheith éagsúil ag brath ar an gcineál trealaimh (mar shampla meaisín sciath galú, meaisín sciath sputtering, etc.) agus próiseas sciath (mar shampla scannán ciseal {-, il -scannán ciseal il -, etc.), ach i gcoitinne, tá an próiseas cóta optúil mar a leanas:
Céim Ullmhúcháin 1.
Comhpháirteanna optúla a ghlanadh agus a ullmhú:
Roimh sciath, ní mór comhpháirteanna optúla (mar lionsaí, scagairí, gloine optúil, etc.) a ghlanadh go críochnúil. Is é an chéim seo an bunús chun cáilíocht an sciath a chinntiú. I measc na modhanna glantacháin coitianta tá glanadh ultrasonach, glanadh aigéad, glanadh gaile, srl.
Is iondúil go gcuirtear comhpháirteanna optúla glanta ar an bhfeiste rothlach nó ar an gcóras clampála den mheaisín sciath chun a chinntiú gur féidir leo fanacht seasmhach le linn an phróisis sciath.
Réamh -chóiriú an tseomra folúis:
Sula gcuireann tú na comhpháirteanna optúla sa mheaisín brataithe, ní mór an seomra sciath a aslonnú go céim fholús áirithe. Is féidir leis an timpeallacht fholús neamhíonachtaí, ocsaigin agus gal uisce san aer a bhaint go héifeachtach, iad a chosc ó fhreagairt leis an ábhar sciath, agus íonacht agus cáilíocht an scannáin a chinntiú.
De ghnáth, ní mór don seomra sciath a bheith i bhfolús ard (10⁻⁵ go 10⁻⁶ pA) nó i bhfolús meánach (10⁻³ go 10⁻⁴ pa).
Próiseas sciath
Foinse Cumhdach Tosaigh:
Is iondúil go nglacann an fhoinse sciath foinse galúcháin nó foinse sputtering. Roghnófar foinsí sciath éagsúla de réir próiseas agus ábhair sciath éagsúla.
Foinse galú: Úsáid trealamh téimh (mar shampla galaithe léas leictreoin nó galaithe téimh friotaíochta) chun an t -ábhar brataithe a théamh go dtí an stát galúcháin, ionas go n -éireoidh agus go dtaiscfidh a mhóilíní nó a adaimh ar dhromchla na heiliminte optúla i bhfolús.
Sputtering Foinse: Tríd an voltas ard a chur i bhfeidhm chun an sprioc -ábhar a imbhualadh le hiain, déantar na hadaimh nó na móilíní den sprioc -ábhar a sputtered amach, agus cuirtear na hadaimh nó na móilíní seo i dtaisce ar dhromchla na gné optúil chun scannán tanaí a dhéanamh.
Sil -leagan ábhar scannán tanaí:
I dtimpeallacht i bhfolús, déanann an t -ábhar brataithe galú nó sputters ón bhfoinse (mar shampla foinse galúcháin nó sprioc -ábhar) agus taiscí de réir a chéile ar dhromchla na gné optúil.
Ní mór an ráta sil -leagain agus tiús scannán a rialú go beacht chun a chinntiú go bhfuil an ciseal scannáin aonfhoirmeach, leanúnach, agus go gcomhlíonann sé na riachtanais dearaidh. Beidh tionchar díreach ag paraiméadair le linn an phróisis sil -leagain (mar shampla reatha, sreabhadh gáis, teocht, etc.) ar chaighdeán an scannáin.
Monatóireacht ar scannáin tanaí agus rialú tiús:
Le linn an phróisis sciath, déantar monatóireacht de ghnáth ar thiús agus ar cháilíocht an scannáin i bhfíor -am. I measc na n -uirlisí monatóireachta a úsáidtear go coitianta tá braiteoirí amhail ** miocróba criostail Grianchloch (QCM) **, ar féidir leo ráta sil -leagain agus tiús an scannáin a bhrath go cruinn.
Bunaithe ar na sonraí monatóireachta seo, is féidir leis an gcóras paraiméadair a choigeartú go huathoibríoch, mar shampla cumhacht na foinse sciath, an tsreafa gáis, nó luas uainíochta na comhpháirte chun comhsheasmhacht agus aonfhoirmeacht an chiseal scannáin a choinneáil.
Scannán Multilayer (más gá):
Maidir le comhpháirteanna optúla a dteastaíonn struchtúr scannáin il -imreora uathu, is iondúil go ndéantar an próiseas brataithe de réir ciseal. Tar éis gach ciseal scannáin a thaisceadh, déanfaidh an córas braite agus coigeartú tiús agus coigeartú tiús arís agus arís eile chun a chinntiú go gcomhlíonann cáilíocht gach ciseal na riachtanais dearaidh.
Éilíonn an próiseas seo rialú beacht ar thiús agus ar chineál ábhair gach ciseal chun a chinntiú gur féidir le gach ciseal feidhmiú laistigh de raon tonnfhaid ar leith, amhail machnamh, tarchur nó cur isteach.
3. Fuarú agus baint
Fuarú:
Tar éis sciath, ní mór na comhpháirteanna optúla agus an meaisín sciath a fhuarú. Ós rud é go bhféadfadh an trealamh agus na comhpháirteanna a bheith te le linn an phróisis sciath, ní mór iad a fhuarú síos go teocht an tseomra trí chóras fuaraithe (mar shampla uisce fuaraithe nó sreabhadh aeir) chun damáiste teirmeach a chosc.
I bpróisis sciath teochta ard -, ní hamháin go gcosnaíonn an fuarú na comhpháirteanna optúla, ach cuireann sé ar chumas an scannáin an ghreamaitheacht agus an chobhsaíocht is fearr a bhaint amach.
Na comhpháirteanna optúla a bhaint:
Tar éis an fhuaraithe, is féidir na comhpháirteanna optúla a bhaint den mheaisín sciath.
Sula ndeachaigh an t -éifeacht, ní mór an éifeacht sciath a sheiceáil, lena n -áirítear aonfhoirmeacht, tiús, greamaitheacht, etc. den chiseal scannáin chun a chinntiú go gcomhlíonann an caighdeán brataithe na riachtanais.
4. Cóireáil - (roghnach)
Cruachan scannán:
Uaireanta ní mór an scannán tar éis sciath a chruachan chun friotaíocht agus marthanacht an scannáin a fheabhsú. Is iondúil go ndéantar é seo trí chóireáil teasa nó trí ionradaíocht ultraivialait.
Glanadh Scannán:
D'fhonn truailleáin, ramhar nó eisíontais eile a bhaint ar dhromchla an scannáin, d'fhéadfadh go mbeadh gá le glanadh beag, mar shampla níochán, cóireáil ultrasonaic, etc.
5. Cigireacht agus tástáil cháilíochta
Tástáil feidhmíochta optúil: Tar éis sciath, déantar sraith tástálacha feidhmíochta ar na comhpháirteanna optúla, lena n -áirítear tarchur, frithchaiteacht, aonfhoirmeacht scannáin, etc., chun a chinntiú go gcomhlíonann siad na riachtanais theicniúla.
Tástáil greamaitheachta: Seiceáil an bhfuil an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit daingean trí thástáil téipe nó trí thástáil scratch.
Tástáil cobhsaíochta comhshaoil: Uaireanta teastaíonn tástálacha cobhsaíochta faoi choinníollacha comhshaoil amhail teocht, taise, agus roic ultraivialait chun iontaofacht an chiseal sciath in iarratais iarbhír a chinntiú.
