1. Struchtúr bunúsach an mheaisín sciath i bhfolús
Is éard is meaisín sciath i bhfolús ann ná gléas a thaisceann scannán tanaí ar dhromchla an tsubstráit trí mhodhanna fisiceacha nó ceimiceacha faoi thimpeallacht an fholúis. Cuimsíonn a chroístruchtúr na codanna seo a leanas:
1. Córas folúis: Tá sé comhdhéanta de chaidéal meicniúil, caidéal móilíneach, caidéal idirleata, etc., a úsáidtear chun an seomra sciath a phumpáil go dtí timpeallacht fholús ard de 10⁻³ ~ 10⁻⁶ Pa (féach "Lámhleabhar Teicneolaíochta Cumhdaigh Fholúis"). Mar shampla, is féidir leis an gcaidéal meicniúil an brú a laghdú go 1 ~ 10 pa, agus is féidir leis an gcaidéal móilíneach é a laghdú go dtí faoi bhun 10⁻⁴ pa.
2. Cumhdach Cumhdach: Is cuas cruach dhosmálta é an príomhchorp, ar creimeadh é - frithsheasmhach agus tá séalaithe láidir aige. Tá an méid idir 0.5 m³ do shaotharlanna beaga agus 5 m³ le haghaidh grád tionsclaíoch (mar shampla samhail ARL-300 ULVAC).
3. Galú Foinse: Roghnaigh Téamh Friotaíochta, Leictreon Leictreon nó Magnetron Foinse Sputtering de réir riachtanais an phróisis. Mar shampla, is féidir le cumhacht fhoinse galú an bhíoma leictreon teacht ar 10 kW, agus is é an ráta galúcháin ná thart ar 1 ~ 5 nm/s.
2. Difríochtaí i gcomhdhéanamh na gcineálacha éagsúla meaisíní sciath
1. Trealamh Sil -leagan gaile fisiciúil (PVD):
{- Ní mór do mheaisíní sciath sputtering maighnéad -sputtering a bheith feistithe le spriocábhair (mar spriocanna tíotáiniam, spriocanna alúmanaim) agus córais réimse maighnéadach, agus is iondúil gurb é an brú gáis oibre ná 0.1 ~ 10 pa.
{- Meaisíní Cumhdach Ioncaidh Cuir foinsí stua leis, is féidir leis an sruth teacht ar 100 ~ 200 A, agus tá an greamaitheacht scannáin níos láidre.
2. Trealamh Sil -leagan gaile ceimiceach (CVD):
{- Ní mór gáis imoibríocha (mar shampla Sih₄, ch₄) a thabhairt isteach, agus tá córas rialaithe sreafa gáis feistithe, le cruinneas ± 1 SCCM (millilítear/nóiméad caighdeánach).
3. Córais chúnta agus príomhpharaiméadair theicniúla
1. Córas rialaithe: Úsáidtear PLC nó ríomhaire tionsclaíoch chun monatóireacht a dhéanamh ar fholús, ar theocht (± 1 chéim), agus ar thiús scannán (arna thomhas ag modh ascalaithe criostail Grianchloch, cruinneas ± 0.1 nm) i bhfíor -am.
2. Córas Fuarú: De ghnáth is é an ráta sreafa dearaidh den phíblíne fuaraithe uisce ná 20 ~ 50 l/min chun a chinntiú go mbeidh cobhsaíocht an trealaimh i gceist le cobhsaíocht an trealaimh {-.
Iv. Cásanna Iarratais agus Moltaí Roghnúcháin
1. Cótáil optúil: Éilíonn sé aonfhoirmeacht ard (± 1% diall tiús), agus ní mór é a roghnú il - foinse galú léas leictreoin.
2. Cumhdach Uirlisí: Díríonn sé ar chruas (mar is féidir le sciath stáin teacht ar 2000 HV), agus is fearr trealamh plating ian.
Tríd an anailís thuas, is féidir le húsáideoirí an cineál agus an chumraíocht mheaitseála mheaitseála a roghnú de réir riachtanais iarbhír (amhail feidhmíocht scannán, éifeachtúlacht táirgthe).
