Meaisíní sciath folúisi réimse maisiúil fhostú go minic sciath galú bhfolús. Is próiseas é galú folúis ina gcuirtear an t-ábhar atá le brataithe i bhfolús agus é galaithe nó sublime, agus é á chur ar dhromchla píosa oibre nó foshraith. Is éard atá i gceist leis an t-amhábhar a théamh i gcoimeádán galú laistigh de chuasán folúis, rud a fhágann go n-éalaíonn a hadaimh nó a mhóilíní agus go n-éalaíonn sé ón dromchla, ag cruthú gaile a shreabhann isteach ar dhromchla soladach (ar a dtugtar foshraith) agus a chomhdhlúthaíonn chun scannán soladach a dhéanamh. Is féidir cruth an fhoinse galú a shaincheapadh bunaithe ar airíonna an ábhair ghalú agus a fhliuchtacht, ag baint úsáide as foirmeacha éagsúla agus ábhair fhoinse galú éagsúla. Tá trí shraith i gceist le sciath ghalú folúis: ciseal primer (6~12µm) + ciseal brataithe (1~2µm) + ciseal barrchóta (10µm). Baineann réamhchóireáil-le dromchla an tsubstráit a ghlanadh ó eisíontais agus deannaigh chun táirgeacht spraeála a fheabhsú. Tá an tsubstráit suite ansin ar dhaingneán speisialta chun é a dhaingniú ar an líne táirgeachta, ag baint amach an chuma agus an fheidhm atá ag teastáil de réir na riachtanas dearaidh.
Úsáideann cuid eile sputtering bhfolús, a thagraíonn de ghnáth do sputtering maighnéadrón, modh sputtering ardluais, teocht íseal. Líontar gás támh (Ar) isteach i bhfolús, agus cuirtear sruth díreach ardvoltais i bhfeidhm idir an chuas agus an sprioc miotail (catóide). Spreagann leictreoin a ghintear trí urscaoileadh glow an gás támh chun iain dhearfacha argóin a tháirgeadh. Gluaiseann na hiain dhearfacha seo ar luas ard i dtreo na sprice catóide, ag díbirt na n-adamh sprice agus á dtaisceadh ar an tsubstráit phlaisteach chun scannán tanaí a dhéanamh.
Meaisíní sputtering folamhbain úsáid as cáithníní ardfhuinnimh (iain dheimhneacha de ghnáth arna luasghéarú ag réimse leictreach) chun dromchla soladach a thuar. Sputtering a thugtar ar an bhfeiniméan ina malartaíonn adaimh agus móilíní ar an dromchla soladach fuinneamh cinéiteach leis na cáithníní ardfhuinnimh teagmhasacha agus a scaoiltear amach as an dromchla soladach ansin. Tá méid áirithe fuinnimh ag na hadaimh sputtered (nó grúpaí adamhacha), agus is féidir leo ath-thaisceadh agus comhdhlúthú a dhéanamh ar dhromchla an tsubstráit soladach chun scannán tanaí a fhoirmiú. Éilíonn sputtering folúis gás támh a líonadh i stát bhfolús chun urscaoileadh glow a bhaint amach. Éilíonn an próiseas seo leibhéal folúis i stát sreabhadh móilíneach. Is féidir sputtering folúis a dhéanamh go díreach freisin gan primer, ag brath ar shaintréithe an tsubstráit agus an sprioc-ábhar. Is féidir an ciseal sciath de sputtering bhfolús a thógáil suas tríd an sruth agus an t-am a choigeartú, ach ní féidir é a bheith ró-tiubh, go ginearálta idir 0.2 agus 2 μm.
