Mar gheall ar a feidhmíocht níos fearr, tá an teicneolaíocht seo tar éis éirí mar an modh taiscí gaile fisiceach príomhshrutha (PVD) sa tionscal sciath nua-aimseartha, go háirithe i réimsí na leathsheoltóirí, na snáthoptaice agus na bratuithe feidhmiúla.
Chun tréithe sputtering magnetron a thuiscint, is gá tosú lena phrionsabal oibre. Is feabhas bunúsach é tabhairt isteach réimse maighnéadach thar sputtering traidisiúnta.
Sputtering teocht ard, íseal teochta: I sputtering dé-óid traidisiúnta, bombardaíonn leictreoin tánaisteacha an tsubstráit go díreach, rud a fhágann go bhfuil méadú tapa ar theocht agus ráta íseal sil-leagan. Úsáideann Magnetron sputtering, trí réimse maighnéadach orthogonal a thabhairt isteach sa réimse leictrigh ar an spriocdhromchla, fórsa Lorentz chun leictreoin a cheangal in aice leis an spriocdhromchla, rud a chuireann iallach orthu achair fhada a bhogadh ar feadh cioclóidí nó héilice. Méadaíonn sé seo go mór an dóchúlacht go dtarlóidh imbhuailtí le móilíní gáis, rud a ghineann plasma ard-dlúis. Ligeann sé seo go méadófar táirgeacht sputtering agus ráta sil-leagan de réir ord méide i gcomparáid le sputtering dé-óid. Ag an am céanna, tá an fuinneamh leictreon ídithe i imbhuailtí iomadúla, a eascraíonn i fuinneamh an-íseal nuair a shroicheann sé ar deireadh an tsubstráit, cothromaíocht a bhaint amach idir "luas ard" agus "teocht íseal."
Cáilíocht scannáin níos fearr: Iompraíonn na cáithníní sputtered sputtered (adaimh neodrach den chuid is mó) ard-fhuinneamh (ar ord 10 eV, i bhfad níos mó ná an 0.2 eV galú) agus taisce ar an tsubstráit, rud a chabhródh le foirmiú núicléis criostail mhín agus dlúth. Dá bhrí sin, tá an struchtúr scannán fíneáil, le cúpla pinholes agus íonacht ard. Ag an am céanna, déanann an éifeacht insteallta a thugann cáithníní ardfhuinnimh an scannán agus an tsubstráit greamaitheacht an-láidir agus níl siad éasca le titim amach.
Infheidhmeacht leathan ábhair: Is féidir beagnach gach ábhar (lena n-áirítear miotail phointe ard-leá{-, cóimhiotail, leathsheoltóirí, criadóireacht, etc.) a dhéanamh ina spriocanna le haghaidh sputtering, rud a bhriseann tríd an tranglam teorann leáphointe i sil-leagan traidisiúnta gaile. Is féidir leis freisin scannáin tanaí cumaisc a ullmhú trí sputtering imoibríoch (ag tabhairt isteach gáis imoibríocha cosúil le ocsaigin agus nítrigin), nó rialú beacht a bhaint amach ar chomhdhéanamh scannán cóimhiotail trí il-sprioc-sputtering.
Inrialaitheacht próisis den scoth: Trí pharaiméadair a choigeartú go beacht, mar shampla soláthar cumhachta, brú gáis oibre, agus ráta sreafa gáis, is féidir tiús an scannáin, comhdhéanamh agus microstructure a rialú le cruinneas ard. Tá sé an-oiriúnach chun scannáin ilchiseal agus scannáin tanaí a ullmhú le struchtúir chasta. Tá ardchobhsaíocht agus in-atrialltacht ag baint leis an gcóras, agus is féidir é a leathnú go héasca ó fheidhmchláir saotharlainne ar scála beag go dtí táirgeadh tionsclaíoch ar scála mór (cosúil le gloine brataithe ailtireachta achair agus sciath rolla go dtí an sciath rolla). Is teicneolaíocht tionsclaíoch aibí agus iontaofa é.
Teorainneacha: Ní uile-íoc
In ainneoin a bhuntáistí suntasacha, cuireann sputtering maighnéadrón roinnt dúshlán dúchasach i láthair freisin: Saincheisteanna úsáide sprice: Mar gheall ar dháileadh míchothrom an réimse mhaighnéadaigh, cruthaíonn "rás-rian" eitseála míchothrom ar an spriocdhromchla, rud a fhágann go bhfuil ráta úsáide íseal de spriocanna traidisiúnta plánacha, ach 30-40%.
Éagobhsaíocht plasma: Faoi choinníollacha próisis áirithe, d'fhéadfadh an próiseas urscaoilte a bheith éagobhsaí, go háirithe le haghaidh spriocanna ferromagnetic nó i bpróisis sputtering imoibríoch, áit a bhféadfadh fadhbanna cosúil le "stua" a bheith ann.
Saincheisteanna struis scannáin: Is féidir le buamáil cáithníní ardfhuinnimh a bheith ina chúis le strus suntasach inmheánach i scannáin thaisce, rud nach mór a rialú i bhfeidhmchláir optúla nó mheicniúla ar leith.
Go hachomair, luíonn gnéithe lárnacha na teicneolaíochta sputtering maighnéadrón ina chumas dhá mhór-rásaíocht a bhaint amach ar theicnící traidisiúnta sputtering trí iata réimse maighnéadach: méadú suntasach ar an ráta taisce agus rialú éifeachtach ar ardú teochta an tsubstráit. Is é an teaglaim seo de ardluais agus teocht íseal a thugann suíomh do-athsholáthair dó i ndéantúsaíocht deiridh ard.
https://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine?lang=zh-Hans
Níos mó físeáin meaisín sciath PVD tabhair cuairt ar an láithreán gréasáin, go raibh maith agat.
