Coitiantatrealamh il-trealamh brataithe ianphlátála ianúsáideann ceachtar bombardú stua nó glanadh ian argón. Cad iad na difríochtaí sonracha idir an dá cheann?
Is é ceann amháin glanadh ian miotail, agus is é an ceann eile glanadh ian gáis; tá na leibhéil fuinnimh difriúil, agus tá na prionsabail difriúil freisin. Inniu, tabharfaidh Puyuan Vacuum réamhrá mionsonraithe duit:
Úsáideann plating ian il-stua modh urscaoilte stua leictreach chun miotail a ghalú go díreach ar sprioc soladach catóide. Is éard atá san ábhar galaithe ná hiain ón ábhar catóide a astaítear le linn an urscaoilte stua catóide. Ní gá linn snámha leáite a bheith ag an bhfeiste seo; tá an sprioc atá le galú ceangailte leis an gcatóid, agus feidhmíonn an seomra folúis mar anóid. Nuair a théann an leictreoid truicear i dteagmháil leis an sprioc catóide go tobann agus ar an toirt, déantar stua a tharlódh, rud a ghineann spota stua catóide geal lonrúil ar an dromchla catóide. Tá trastomhas an láthair níos lú ná 100 µm, agus is féidir leis an dlús reatha laistigh den láthair 10³ ~ 10⁷ A / cm² a bhaint amach. Ansin ghalaíonn agus ianaíonn an t-ábhar sa réigiún seo láithreach. Gluaiseann an spota stua catóide go randamach ar an dromchla catóide ar luas na ndeicheanna méadar in aghaidh an tsoicind. Úsáidtear réimse maighnéadach seachtrach chun trajectory agus luas an láthair a rialú. Chun an stua bhfolús a chothabháil, is gá go ginearálta voltas -20 go -40 V.
Tá prionsabal na plating ian stua il- bunaithe ar theoiric urscaoilte stua bhfolús catóide fuar, rud a dhearbhaíonn go mbaintear amach an t-aistriú muirir le linn an phróisis urscaoilte trí dhá mheicníocht a bheith ann go comhuaineach agus trí shrianadh frithpháirteach: astú leictreoin réimse agus sruth ian dearfach. Le linn an phróisis urscaoilte, evaporates cuid mhór ábhar catóide. Cruthaíonn na hiain dhearfacha a ghineann na móilíní gaile seo réimse leictreach thar a bheith láidir laistigh d'achar gairid in aice leis an dromchla catóide. Faoi thionchar an réimse láidir leictreach seo, astaítear leictreoin isteach sa bhfolús mar leictreoin réimse. Is féidir le hiain dhearfacha thart ar 10% den sruth stua iomlán a áireamh. Cruthaíonn hiain mhiotail a mhealltar chuig an dromchla catóide ciseal luchtaithe spáis, rud a ghineann réimse láidir leictreach ina dhiaidh sin, rud a fhágann go dtosóidh pointí ar an dromchla catóide le feidhm oibre íseal (teorainneacha gráin nó scoilteanna) ag astú leictreoin. Tá dlús ard reatha ag pointí aonair a bhfuil dlús ard astaithe leictreon acu. Ardaíonn téamh Joule an teocht, gineann sé leictreoin thermiónacha, agus méadaíonn sé astaíocht leictreoin tuilleadh. Is cúis leis an éifeacht aiseolais dhearfach seo an tiúchan reatha áitiúil.
Cruthaíonn an téamh Joule a ghineann an tiúchan srutha logánta seo foirmiú plasma pléascach logánta ar dhromchla an ábhair chatóide, astú leictreoin agus iain agus fágtar marcanna scaoilte. Scaoiltear cáithníní ábhar catóide leáite freisin. Mealltar cuid de na hiain astaithe ar ais go dtí an dromchla catóide, rud a chruthaíonn ciseal luchtaithe spáis, ag giniúint réimse láidir leictreach, rud a fhágann go dtosóidh pointí nua le feidhm oibre íseal chun leictreoin a astú.
Tá na tréithe seo a leanas ag teicneolaíocht trealaimh fholúsphlátála ianphlátála ianstua:
Buntáistí: Is féidir é a shuiteáil go treallach chun tiús scannán aonfhoirmeach a chinntiú. Feabhsaíonn réimse maighnéadach seachtrach urscaoileadh stua; briseann an stua; méaduithe luas rothlaithe; scagadh cáithníní scannáin; agus luasghéadaíonn sé cáithníní luchtaithe. Tá ráta ard ianaithe miotail tairbheach d'aonfhoirmeacht scannáin agus greamaitheacht, rud a fhágann gurb é an próiseas is fearr le haghaidh plating ian. Freastalaíonn stua aonair ar ilchuspóirí: feidhmíonn sé mar fhoinse galaithe, mar fhoinse íonaithe buamaí, agus mar fhoinse ianúcháin.
Míbhuntáistí: Ag ardchumhacht, gintear cáithníní móra miotail go héasca, rud a dhéanann difear don chaighdeán sciath; agus tarlaíonn éagobhsaíocht urscaoilte stua ar roinnt spriocábhar.
I measc na modhanna chun giniúint droplet a laghdú tá: dlús cumhachta urscaoilte a laghdú, luas spot stua a mhéadú, bearta fuaraithe catóide a neartú, agus scagachán maighnéadach a úsáid.
