Is éard atá i trealamh sciath bhfolús galú friotaíochta den chuid is mó ná seomra folúis agus córas caidéalaithe folúis. Tá foinse galú sa seomra folúis (ie, téitheoir galú), sealbhóir foshraithe agus foshraithe, téitheoir foshraithe, agus córas sceite. Cuirtear an t-ábhar brataithe sa fhoinse galú laistigh den seomra folúis. Faoi choinníollacha folús ard, téann an fhoinse galú an t-ábhar, rud a fhágann go galú. Nuair a sháraíonn meánchosán saor in aisce na móilíní gaile an toise líneach den seomra folúis, éalaíonn adaimh agus móilíní an ghal ó dhromchla na foinse galú le himbhuailtí íosta nó bacainn ó mhóilíní nó adaimh eile, rud a ligeann dóibh dromchla an tsubstráit a bhaint amach go díreach. Mar gheall ar theocht níos ísle an tsubstráit, comhdhlúthaíonn na cáithníní gaile air chun scannán a dhéanamh.
Chun an greamaitheacht idir na móilíní galaithe agus an tsubstráit a fheabhsú, is féidir an tsubstráit a ghníomhachtú trí théamh cuí nó glanadh ian. Is iad seo a leanas na próisis fhisiceacha a bhaineann le cumhdach galú folúis, ó ghalú ábhar agus iompar go dtí sil-leagan scannáin:
(1) Úsáidtear modhanna éagsúla chun cineálacha eile fuinnimh a thiontú go fuinneamh teirmeach, an t-ábhar scannáin a théamh chun galú nó sublimation a chur faoi deara, agus mar thoradh ar cháithníní gásacha (adaimh, móilíní nó grúpaí adamhacha) le fuinneamh áirithe (0.1 ~ 0.3 eV);
(2) Fágann na cáithníní gásacha dromchla an scannáin agus iompraítear iad go dromchla an tsubstráit i líne réasúnta díreach le himbhuailtí íosta ag luas suntasach;
(3) Na cáithníní gásacha a shroicheann dromchla an tsubstráit comhdhlúite agus núicléach, ag fás ina scannán tanaí céim soladach;
(4) Déanann na hadaimh arb é an scannán tanaí iad a athshocrú nó a fhoirmíonn naisc cheimiceacha.
Is é galú teasa friotaíochta an modh téimh is simplí agus is coitianta a úsáidtear, go ginearálta oiriúnach le haghaidh ábhar brataithe le leáphointe faoi bhun 1500 céim. Go hiondúil, déantar foinse galú de chruth oiriúnach do mhiotal ardphointe leá (W, Mo, Ti, Ta, nítríde bórón, etc.) i bhfoirm sreinge nó leatháin, ar a bhfuil an t-ábhar brataithe á luchtú. Déanann téamh Joule an tsrutha leá, galú, nó sublimates an t-ábhar brataithe. Áirítear go príomha ar chruthanna na foinse galú bíseach il-snáithe, cruth U, cruth tonn sinusoidal, pláta tanaí, cruth bád, agus cruth ciseán cónúil.
Ag an am céanna, éilíonn an modh seo go bhfuil tréithe ag an mbunábhar galú, mar shampla pointe leá ard, brú gaile sáithithe íseal, airíonna ceimiceacha cobhsaí (gan imoibriú ceimiceach leis an ábhar sciath ag teocht ard), friotaíocht teasa maith, agus éagsúlacht dlús cumhachta beag. Úsáidtear sruth mór chun dul tríd an bhfoinse galú chun an t-ábhar brataithe a théamh agus a ghalú go díreach, nó cuirtear an t-ábhar brataithe i breogán déanta as graifít nó ocsaídí miotail áirithe atá ardteocht (amhail Al₂O₂, BO) le haghaidh téimh agus galú indíreach.
Trealamh sciath bhfolús galú Friotaíochttá teorainneacha maidir le taisceadh scannán. Tá brú íseal gaile ag miotail teasfhulangacha, rud a fhágann go bhfuil siad deacair scannáin tanaí a fhoirmiú; cruthaíonn roinnt eilimintí cóimhiotail go héasca leis an sreang teasa; agus tá sé deacair scannáin cóimhiotail a fháil le comhdhéanamh aonfhoirmeach. Mar sin féin, is modh galú a úsáidtear go forleathan é galú téimh friotaíochta mar gheall ar a struchtúr simplí, ar chostas íseal, agus ar a éascaíocht oibríochta.
