Is córas dinimiciúil cothromaíochta gáis é an córas iomlán go bunúsach.
Ag an bpointe seo: níl sa leibhéal folúis ach toradh,
agus an luas caidéalaithe á chinneadh: cumas an chórais na hathruithe gáis seo a láimhseáil.
Iad siúd a oibríonn i PVD beagnach i gcónaí aird ar leith a thabhairt ar uimhir amháin: leibhéal an fholús.
An féidir leis an trealamh:
10⁻³ Pa 10⁻⁴ Pa Folús deiridh Íochtarach? Go minic, glacann daoine leis:
dá airde an leibhéal bhfolús, is amhlaidh is cobhsaí an próiseas.
Mar sin féin, tar éis duit a bheith ag obair sa réimse ar feadh i bhfad, gheobhaidh tú amach feiniméan an-frith-intuigthe:
Tá folús deiridh den scoth agus léamha brú cobhsaí ag roinnt trealamh, ach fós i dtáirgeadh iarbhír, tá saincheisteanna cosúil le luaineachtaí scaoilte, tuaradh scannáin, cion neamhghnácha ocsaigine, agus laghdú de réir a chéile ar an toradh. Os a choinne sin, b'fhéidir nach bhfuil sonraíochtaí folúis go háirithe go hiontach ag roinnt trealaimh, ach tá a phróisis fós seasmhach go seasta.
Is minic nach í an fhadhb:
"An bhfuil an bhfolús íseal go leor?"
Ach ina áit sin: An féidir an gás a bhaint in am?
Is í an eochair atá taobh thiar de seo i ndáiríre: An luas caidéalaithe.
Tá tuiscint a lán daoine ar chórais folúis teoranta do:
"Cé mhéad gáis atá fágtha sa chuas?"
Mar sin féin, ní próiseas statach é táirgeadh PVD.
Le linn sciath, tá na próisis seo a leanas ag tarlú i gcónaí laistigh den chóras:
Scaoileadh workpiece; scaoilte cuas; ábhar sprice a scaoileann gás asaithe; gás a phróiseáil ag dul isteach go leanúnach.
Is córas dinimiciúil cothromaíochta gáis é an córas iomlán go bunúsach.
Ag an bpointe seo: níl sa leibhéal folúis ach toradh,
agus an luas caidéalaithe á chinneadh: cumas an chórais na hathruithe gáis seo a láimhseáil.
Cén fáth a bhfuil difríocht chomh hiomlán idir sraitheanna scannáin faoin mbrú céanna?
Tá sé seo ar cheann de na gnéithe is deacra a thuiscint i go leor oibríochtaí allamuigh.
Mar shampla: léirigh an dá fheiste 0.5 Pa, agus bhí na paraiméadair cosúil. Toradh: Tháirg feiste amháin scannán cobhsaí, agus bhí fadhbanna leanúnacha ag an gceann eile.
Is é an chúis:
Ní féidir le tomhas brú ach a rá leat:
"Cad é an brú iomlán?"
Ach ní inseoidh sé duit:
Cén cineál gáis atá istigh? Cé mhéad gal uisce atá ann? Cé mhéad ocsaigin atá fágtha? An bhfuil carnadh gáis i réimsí áirithe?
Is é sin le rá:
D'fhéadfadh go mbeadh timpeallachtaí inmheánacha go hiomlán difriúil ag dhá chóras leis an mbrú céanna.
Bíonn tionchar ag an luas eastósctha i ndáiríre ar na trí rud seo:
1. Cibé an féidir truailleáin a bhaint go tráthúil.
Níl go leor fadhbanna membrane mar gheall ar:
"Éilliú tobann."
Ach mar gheall ar: Tá ábhar salaithe ag carnadh go mall.
Mar shampla: Gal uisce, Comhdhúile orgánacha so-ghalaithe, ocsaigin iarmharach
Mura leor an luas caidéalaithe: Fanfaidh na gáis seo sa chuas ar feadh i bhfad.
Mar thoradh air seo ar deireadh: urscaoileadh atá ag éirí níos éagobhsaí, méadú ar an ábhar ocsaigine sa chiseal scannáin, agus laghdaigh greamaitheacht. Feiceann go leor daoine:
"Níor athraigh na paraiméadair, ach tá na torthaí imithe in olcas."
I ndáiríre: Tá an timpeallacht cuas athrú de réir a chéile.
2. An carnfaidh gáis imoibríocha go háitiúil?
Tá an fhadhb seo faoi deara go háirithe i sputtering imoibríoch.
Mar shampla, nuair a bhíonn scannáin ocsaíd á gcruthú:
Mura leor an luas caidéil,
gheobhaidh tú go:
tá an sprioc thar a bheith seans maith go nimhiú.
Is é an chéad imoibriú a bhíonn ag go leor daoine:
Tá an sreabhadh ocsaigine ró-ard.
Ach b'fhéidir gurb é an réaltacht:
Níl an ocsaigin á iompar in am.
Tá sé fós sa cheantar os comhair na sprice.
Coinníonn an tiúchan áitiúil ocsaigine ag méadú.
Ar deireadh:
Éiríonn an spriocdhromchla go hiomlán neamhchothrom.
3. An bhfuil an timpeallacht urscaoilte cobhsaí?
Is iomaí duine a bhreathnaíonn ar phointe amháin:
Tá plasma an-íogair don chomhshaol.
má:
Tá an gás iarmharach ag athrú i gcónaí, luainíonn an tiúchan gal uisce, agus tá an t-atmaisféar seomra éagobhsaí.
Sruthóidh an stát scaoilte go mall.
Léiríonn sé é féin mar:
Tosaíonn voltas a athrú, méaduithe adhainte, faigheann fuinneog an phróisis níos cúinge agus níos cúinge
Cén fáth a bhfuil seomraí móra níos mó seans ann go mbeidh fadhbanna acu?
Tagann go leor píosaí móra trealaimh i gcás: ina bhfuil na figiúirí folúis go maith,
ach tá an próiseas éagobhsaí.
Is é an chúis: Níl an dúshlán is mó le seomraí móra "folús íseal a bhaint amach."
Is éard atá i gceist leis: folús comhsheasmhach a choinneáil ar fud an tseomra ar fad.
Toisc le seomra mór: Tá am láimhdeachais gáis níos faide; tá criosanna marbha níos líonmhaire; agus tá marbhántacht áitiúil níos suntasaí.
Uaireanta: Tá an limistéar brú brú an-chobhsaí, ach tá an t-atmaisféar i roinnt réimsí go hiomlán difriúil.
Gait thar a bheith éasca le titim isteach: Uasghrádú a dhéanamh ar an bhfolúschaidéal amháin.
Nuair a bhíonn fadhb ag go leor daoine, déanfaidh siad na nithe seo a leanas láithreach:
In ionad le caidéal níos mó
Méadú ar an bhfolús deiridh
Ach faigh ar deireadh thiar:
Níl an éifeacht suntasach.
Toisc nach bhfuil an rud a chinneann an luas caidéalaithe éifeachtach ach an caidéal féin.
Conas a fheiceann innealtóirí fíor-thaithí córais folúis?
Níl a bhfócas a thuilleadh ar:
msgstr "An doimhneacht aslonnaithe íosta."
Ina áit sin, díríonn siad ar:
"Cé chomh tapa agus atá an ráta malairte gáis? An féidir ábhar salaithe a bhaint go pras? An mbeidh timpeallacht an tseomra ag sileadh go leanúnach? An bhfuil na coinníollacha scaoilte cobhsaí san fhadtéarma?"
Toisc nach bhfuil córas folúis PVD, go bunúsach:
msgstr "Aeir go léir a bhaint."
Baineann sé le:
"Timpeallacht próisis chobhsaí, inrialaithe agus atá ag athrú de shíor a chothabháil."
