Meaisín sciath bhfolúsTagraíonn go príomha le cineál sciath a chaithfear a dhéanamh faoi fholús sách ard, lena n-áirítear go leor cineálacha, lena n-áirítear galú ian bhfolús, sputtering magnetron, epitaxy bhíoma mhóilíneach MBE, taisceadh sputtering léasair PLD, etc. Is é an príomh-smaoineamh é a roinnt ina dhá chineál: galú agus sputtering.
Úsáideann an próiseas dath grádán go ginearálta trealamh sciath sputtering magnetron. Faoi láthair, úsáideann cásálacha dath grádán go leor samhlacha fón póca ar nós Huawei agus Lenovo an próiseas sciath grádán folúis PVD.
Is cineál sil-leagain gal fisiceach é sputtering Magnetron (Sistíocht Fisiciúil Gal, PVD). Is féidir an modh sputtering ginearálta a úsáid chun miotail, leathsheoltóirí, inslitheoirí agus ábhair eile a ullmhú, agus tá na buntáistí a bhaineann le trealamh simplí, rialú éasca, limistéar sciath mór agus greamaitheacht láidir.
Tá an modh sputtering magnetron a forbraíodh sna 1970í tar éis ardluais, teocht íseal agus damáiste íseal a bhaint amach. Toisc go ndéantar sputtering ardluais faoi bhrú íseal, ní mór an ráta ianaithe gáis a mhéadú go héifeachtach. Tugann sputtering Magnetron réimse maighnéadach isteach ar dhromchla an sprioc-chatóide agus úsáideann sé an réimse maighnéadach chun srian a chur ar cháithníní luchtaithe chun an dlús plasma a mhéadú chun an ráta sputtering a mhéadú.
Is é meaisín sciath bhfolús sputtering Magnetron an trealamh is coitianta a úsáidtear chun táirgí atá ann cheana féin a chumhdach faoi choinníollacha folúis. Tá meaisín sciath bhfolús sputtering magnetron iomlán comhdhéanta de go leor codanna den chóras. Is féidir le gach córas feidhmeanna éagsúla a chomhlánú chun an sciath ardchaighdeáin deiridh a bhaint amach. Áirítear ar chomhpháirteanna sciath sputtering magnetron seomra folúis, caidéal meicniúil, córas tástála folúis, caidéal idirleathadh ola, córas folúis, caidéal comhdhlúthaithe, córas rialaithe foirmiú scannáin, etc.
Is é príomhchorp an mheaisín sciath bhfolús sputtering magnetron an seomra folúis. Cinneann na táirgí próiseáilte méid an tseomra folúis. Is féidir méid an sciath sputtering magnetron a shaincheapadh. Go ginearálta tá an seomra déanta as cruach dhosmálta agus caithfidh sé a bheith láidir, buan agus saor ó meirge. Tá go leor comhlaí nasctha ag an seomra folúis sciath sputtering magnetron chun caidéil chúnta éagsúla a nascadh.
Is féidir leis an gcóras rialaithe foirmiú scannán sciath sputtering magnetron modhanna éagsúla a ghlacadh, mar shampla am plating seasta, iniúchadh amhairc, monatóireacht mhór agus monatóireacht ar chreathadh criostail. Roinntear meaisíní sciath folúis agus modhanna sciath meaisín sciath bhfolús freisin i bpróisis éagsúla. I measc na cinn a úsáidtear go coitianta tá sciath galú ian agus sciath sputtering magnetron. Tá greamaitheacht láidir agus íonacht ard ag an gciseal scannán atá plátáilte ag magnetron sputtering, agus féadann sé éagsúlacht ábhar a sputter le cumadóireachta éagsúla ag an am céanna.
