Bíonn mearbhall ar go leor custaiméirí agus iad ag ceannachmeaisíní sciath bhfolús. Tá a fhios acu cén cineál agus cineál meaisín brataithe a theastaíonn uathu, ach ní féidir leo a chinneadh cad iad na caighdeáin a chaithfidh an meaisín a chomhlíonadh chun go measfar go bhfuil sé ar ardchaighdeán agus ar ardcháilíocht. Mar thoradh ar an mearbhall seo déanann siad go leor malairt slí. Anseo thíos, tabharfaidh Puyuan Vacuum réamhrá mionsonraithe ar na bunriachtanais theicniúla a gcaithfidh meaisín sciath bhfolús a chomhlíonadh.
Galú Fholúis, Ionization Catóide, Sputtering Magnetron:
1.Ba cheart go mbeadh struchtúr na bpíblínte folúis agus na gcomhpháirteanna séalaithe statacha sa trealamh i gcomhréir le GB/T6070.
2.Ba chóir tomhsairí folúis a shuiteáil ar na píblínte folúis íseal agus ard agus ar an bhfolús-chlúdach chun leibhéal an fholús a thomhas ag gach láthair. Má aimsítear cur isteach ón réimse leictrigh, ba cheart feiste sciath réimse leictrigh a shuiteáil ag an gcalafort tomhais.
3.Más caidéal idirleata an príomhchaidéal a úsáidtear sa trealamh sciath PVD, ba cheart gaiste gaile ola a shuiteáil ar thaobh an inlet caidéil.
4. Ba cheart go mbeadh fuinneog breathnóireachta agus gléas sciath ar an seomra sciath den trealamh sciath bhfolús. Ba cheart go gceadódh an fhuinneog bhreathnaithe stádas oibre na foinse sil-leagan agus comhpháirteanna ríthábhachtacha eile a bhreathnú.
5. Ba cheart go n-uasmhéadódh dearadh na foinse taisce plating ian an ráta ianúcháin le linn an phróisis sciath, feabhas a chur ar ráta úsáide an ábhair bhrataithe, cumhacht na foinse taisce a mheaitseáil go réasúnach, agus socrú réasúnach a dhéanamh ar shuíomh na foinse taisce laistigh den seomra folúis.
6.Ba cheart an gléas téimh a shocrú go réasúnach; go ginearálta, ba cheart go gcinnteodh leagan amach struchtúr an téitheoir ardú teochta aonfhoirmeach an phíosa oibre atá á phláta.
7. Ba chóir sealbhóir an phíosa oibre a insliú ón seomra bhfolús, agus ba cheart go gcinnteodh dearadh sealbhóir an phíosa oibre go bhfuil ciseal an scannáin workpiece aonfhoirmeach.
8. Go ginearálta, ba cheart go mbeadh voltas claonta diúltach ag an bpíosa oibre agus soláthar cumhachta bombardú ian ag meaisíní sciath bhfolús ian. Ba cheart go mbeadh gléas ag an soláthar cumhachta bombardú ian chun urscaoileadh neamhghnácha a chosc agus oibriú cobhsaí a choinneáil.
9.Cloífidh na luachanna friotaíochta inslithe idir codanna éagsúla den chuasán folúis atá nasctha le hacmhainn éagsúla le 4.4.6 de GB/T11164-1999.
10. Réamhchúraimí eile
(1) Teocht chomhthimpeallach: 10-30 céim
(2) Taise choibhneasta: nach mó ná 75%
(3) Teocht inlet uisce fuaraithe: nach airde ná 25 céim
(4) Cáilíocht uisce fuaraithe: uisce sconna cathrach nó uisce de cháilíocht choibhéiseach.
(5) Soláthar cumhachta: 380V trí-phas 50Hz nó 220V singil-phas 50Hz (ag brath ar na fearais leictreacha a úsáidtear); raon luaineachta voltais: 342-399V nó 198-231V; raon luaineachta minicíochta: 49-51Hz.
(6) Ba cheart brú, teocht agus tomhaltas aer comhbhrúite, nítrigine leachtach, uisce fuar, uisce te, etc., a theastaíonn ón trealamh a shonrú sa lámhleabhar treoracha táirge.
(7) Ba cheart go mbeadh timpeallacht máguaird an trealaimh glan agus ba cheart go mbeadh an t-aer saor ó dheannach nó gáis a d'fhéadfadh a bheith ina chúis le creimeadh comhpháirteanna leictreacha nó páirteanna miotail eile, nó seoladh idir miotail.
