Cén Fáth a Gá An Meaisín Cumhdach Fholúis Galú a Chótáil faoi Choinníollacha Folúis?

Oct 27, 2025

Fág nóta

PVD vaporation coating machine

 

 

Ní scannáin tanaí idéalacha a bhíonn i dtaisce ábhair scannáin ag gnáthbhrú. Déanta na fírinne, mura bhfuil an brú íseal go leor (nó mura bhfuil an folús ard go leor), ní bhainfear torthaí maithe amach ach an oiread. Mar shampla, nuair a bhíonn gal alúmanam á thaisceadh ag 10 2 Torr, ní hamháin go bhfuil an scannán a bhíonn mar thoradh air sin dull, ach is féidir le cuma liath nó dubh a bheith air fiú. Tá a neart meicniúil fíor-lag, agus is féidir damáiste a dhéanamh don chiseal alúmanaim de bharr scuabadh gruaige éadrom le scuab gruaige iora.

Ní mór sil-leagan gaile a dhéanamh faoi choinníollacha áirithe folúis ar na cúiseanna seo a leanas:

 

1. Cinntíonn folús ard go bhfuil meánchosán saor in aisce na móilíní vaporized níos mó ná an t-achar ón bhfoinse galú go dtí an tsubstráit. De bharr tairiscint theirmeach móilíní gáis, bíonn imbhuailtí eatarthu thar a bheith minic. Mar sin, in ainneoin ardluais na móilíní gáis (suas le cúpla céad méadar in aghaidh an tsoicind), imbhuaileann siad le móilíní eile go minic agus iad ag dul ar aghaidh. Tugtar a chosán saor ar an bhfad a thaistealaíonn móilín idir dhá imbhualadh as a chéile, agus tugtar an mheánchosán saor ar mheán staidrimh na gcosán saor in aisce i líon mór móilíní.

 

Ós rud é go bhfuil brú gáis comhréireach le líon na móilíní in aghaidh an aonaid toirte, tá an meánchosán saor in aisce comhréireach freisin le brú gáis. Le linn taiscthe scannáin tanaí i bhfolús, nuair a bhíonn an t-achar teistíochta níos mó ná an meánchosán saor ó na móilíní, tugtar sil-leagan íseal i bhfolús air, agus nuair a bhíonn an t-achar taisce níos lú ná meánchosán saor na móilíní, tugtar taisceadh ardfholús air. Le linn sil-leagan ard i bhfolús, tá imbhuailtí idir adaimh ghalaithe (nó móilíní) agus móilíní gáis iarmharacha diomaibhseach, agus mar sin eitlíonn na hadaimh ghalaithe i líne dhíreach i dtreo an tsubstráit. Ligeann sé seo do na hadaimh vaporized, a shroicheann an tsubstráit le fuinneamh cinéiteach ard, comhdhlúthú a dhéanamh ar an tsubstráit chun ciseal scannáin sách láidir a fhoirmiú. Le linn sil-leagan íseal i bhfolús, féadann imbhuailtí a bheith ina gcúis do na hadaimh ghalaithe a luas agus a dtreo a athrú, rud a d’fhéadfadh fiú bailiúchán d’adamh gaile a chruthú sa spás-cosúil le foirmiú ceo trí ghal uisce san atmaisféar.

 

2. Is féidir le leibhéal níos airde bhfolús éilliú gáis iarmharach a laghdú. Ag leibhéil folúis níos ísle, tá go leor móilíní gáis iarmharacha (cosúil le ocsaigin, nítrigin, uisce agus hidreacarbóin) sa seomra folúis, rud a d'fhéadfadh a bheith ina bhagairt shuntasach ar sil-scannán tanaí. Imbhuaileann na gáis seo le móilíní scannáin ghalaithe, rud a ghiorrú a ngnáthchosán saor; imbhuaileann siad agus imoibríonn siad le dromchla an scannáin atá á fhoirmiú; lóisteálann siad laistigh den scannán atá déanta cheana féin, ag creimeadh de réir a chéile; imoibríonn siad leis an bhfoinse galú ag teochtaí arda, ag laghdú a shaol seirbhíse; agus cruthaíonn siad ciseal ocsaíd ar dhromchla an scannáin galaithe, ag cur isteach ar an bpróiseas taisce.

 

Dá bhrí sin, anmeaisín sciath bhfolús galúa bheith i stát bhfolús chun an ciseal scannáin a chóta, ionas go mbeidh an ciseal scannáin daingean agus saor ó thruailleáin.

 

 

 

 

 

 

Glaoigh Linn
Déan teagmháil linnMá tá aon cheist agat

Is féidir leat teagmháil a dhéanamh linn ar an bhfón, ar an ríomhphost nó ar an bhfoirm ar líne thíos. Rachaidh ár speisialtóir i dteagmháil leat go gairid.

Déan teagmháil anois!