Prionsabal Oibriúcháin:
Is é an prionsabal oibre a bhaineann le magnetron sputtering de shraith Magnetron Magnetron Meaisín sciath folúis sputtering ná go bhfuil "sputtering" chun rud a bhombadh le cáithníní fuinniúla (ian dearfach gáis de ghnáth), rud a chruthaíonn na hadaimh ar dhromchla an réada chun éalú ón maitrís.
Chomh luath le 1842, fuair Grove an feiniméan seo sa tsaotharlann. Úsáideann an sprioc sputtering maighnéadrach réimse leictreamaighnéadach statach, agus tá an réimse maighnéadach cuartha. Úsáidtear an réimse leictreach aonfhoirmeach agus an réimse leictreach logartamach don sprioc eitleáin agus don sprioc sorcóireach comhaiseach faoi seach.
Faoi ghníomh an réimse leictrigh, imbhuaileann na leictreoin le hadaimh argóin sa phróiseas chun luas a chur leis an tsubstráit. Má tá dóthain fuinnimh ag na leictreoin (thart ar 30ev), déanfar AR+ a ianú agus ginfear leictreoin. Eitlíonn na leictreoin chuig an tsubstráit. Faoi ghníomh an réimse leictrigh, déantar AR+ a luathú chun eitilt go dtí an catóid (sprioc sputtering) agus an dromchla sprice a bhomáil le fuinneamh ard, rud a fhágann go mbíonn an t -ábhar sprice ag sputter.
Iarratais:
Úsáidtear é go forleathan i bhfearais tí, i gcloig, i gcinn gailf, i n -ealaíon agus i gceardaíocht, i bréagáin, i bhfrithchaiteoirí solais carranna, i sliogáin chnaipe fón póca, i n -ionstraimí agus le méadair, le plaistigh, le gloine, le criadóireacht, le tíleanna agus le bratuithe maisiúla eile agus bratuithe feidhmiúla le haghaidh uirlisí agus múnlaí.
Tá buntáistí aige i réimsí plating Ultra - Scannán Dubh, Scannán Maisiúla Óir Pure, Scannán Seolta, srl.














Gnéithe:
Tá an tiús scannáin inrialaithe agus in -athdhéanta.
Is féidir leis scannán de thiús réamhshocraithe a thaisceadh go hiontaofa, agus is féidir le sciath sputtering tiús scannán aonfhoirmeach a fháil ar dhromchla mór.
Tá greamaitheacht láidir ag an scannán leis an tsubstráit.
Roinnt ard - Táirgeann adaimh sputtered fuinnimh céimeanna éagsúla insteallta, ag cruthú ciseal idirleata pseudo - ar an tsubstráit ina bhfuil na hadaimh sputtered agus na hadaimh fhoshraitheanna le chéile.
Ullmhú scannáin tanaí d'ábhair speisialta.
Is féidir scannáin mheasctha agus scannáin chumaisc a ullmhú trí ábhair éagsúla a sputtering ag an am céanna. Is féidir scannáin óir a aithris a sputtered freisin.
Tá íonacht ard ag an scannán agus ní dhéanfar an scannán sputtered a mheascadh le comhpháirteanna an ábhair téite Crucible.
Tá sé feistithe le foinse íseal - Foinse Cúnta Teochta, is féidir leis scannáin a dhéanamh trí phláta fuar ag teocht an tseomra gan teas, fuinneamh agus leictreachas a shábháil, agus cumas táirgthe a fheabhsú.
Sonraíocht:
|
Magnetron Meaisín Cumhdach Sputtering |
|||||||
|
Múnla |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
Méid an tseomra |
Φ600 × 800mm |
Φ800 × 1000mm |
Φ1000 × 1200mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1400 × 1600mm |
Φ1500 × 1500mm |
Φ1600 × 1800mm |
|
Aonad folúis |
Aonad caidéil idirleata KT400 |
Aonad caidéil idirleata KT500 |
Aonad caidéil idirleata KT800 |
Aonad Caidéil Idirleata KT630 |
Aonad Caidéil Idirleata Dúbailte KT630 |
Aonad caidéil idirleata dúbailte KT630 |
Aonad caidéil idirleata dúbailte KT630 |
|
Córas brataithe |
DC nó Soláthar Cumhachta Minicíochta Meánach, Clúdach Soláthar Cumhachta Speisialta Iondáin Chúntóir |
||||||
|
Córas boilscithe |
Méadar sreafa maise |
||||||
|
Modh rialaithe |
Lámhleabhar nó go hiomlán uathoibríoch |
||||||
|
Folús deiridh |
5x10-3pa |
||||||
|
Abair |
Tá na paraiméadair trealaimh thuas le haghaidh tagartha amháin, agus tá siad deartha agus saincheaptha de réir riachtanais iarbhír an phróisis custaiméirí. |
||||||
Clibeanna Te: Magnetron Meaisín Cumhdach Sputtering, an tSín Magnetron Sputtering Meaisín Meaisín, Soláthraithe, Monarcha
