I dtéarmaí prionsabail PVD, is féidir tungstain (W) a chur i dtaisce trí úsáid a bhaint as modhanna éagsúla, mar shampla sputtering maighnéadrón, plating ian stua il, HiPIMS, nó sil-leagan ian-léas. Is í an cheist fíor: cad é an t-iarratas atá beartaithe le haghaidh an tungstain? An bhfuil tú ag iarraidh ciseal tungstain íon, cairbíd tungstain (WC), dopant beag a chruthú laistigh de bhratú W-DLC, nó ciseal trasdultach ardiompartha?
Athraíonn an modh is oiriúnaí ag brath ar an gcuspóir.
Is é an buntáiste is mó a bhaineann le sputtering magnetron do W ná "rialú éasca"
Is sprioc seoltaí é an sprioc W agus is féidir é a úsáid le haghaidh sputtering maighnéadrón. bombardaíonn hiain an sprioc W, leag amach na hadaimh W, agus ansin cuir i dtaisce iad ar dhromchla an phíosa oibre.
Tá na buntáistí a bhaineann le sputtering magnetron a úsáid chun tungstain (W) a thaisceadh soiléir: níos lú cáithníní, dromchla scannáin réidh, agus comhdhéanamh atá inrialaithe go héasca. Tá an modh seo thar a bheith oiriúnach do bhratuithe W-DLC, áit a bhfuil gá le rialú beacht ar an ábhar tungstain.
In W-DLC, ní hé tungstain an phríomh-chomhpháirt feidhme de ghnáth. Is é an líonra carbóin a sholáthraíonn airíonna frithchuimilte íseal; feidhmíonn an tungstain chun strus inmheánach a choigeartú, cumas iompair ualaigh a fheabhsú, agus cobhsaíocht scannán níos tiús a fheabhsú. Mar sin féin, má chuirtear an iomarca tungstain isteach, cuirfear isteach ar shaintréith líonra carbóin ísealfhrithchuimilte DLC.
Mar sin, is mó eagla atá ar W{0}}DLC go n-éireoidh an t-inneachar W as smacht.
Anseo tá an leas a bhaint as maighnéadrón sputtering. Is féidir leat an t-ábhar W a thabhairt go mall chuig an bhfuinneog sprice trí spriocchumhacht W, ráta sreafa foinse carbóin, voltas claonta, agus brú aeir a choigeartú. Mar shampla, má dhéanann tú comparáid idir W íseal, meánach W, agus W ard, is féidir na treochtaí frithchuimilte, cruas agus strus a fheiceáil go soiléir.
Dá bhrí sin, is bealach an-choitianta agus cobhsaí é sputtering maighnéadrón le haghaidh dópáil mhíne W, ciseal trasdula W-C, agus príomhchiseal W-DLC.
Is féidir plating ian il-stua-a úsáid le haghaidh tungstain (W), ach cruthaíonn sé dúshláin níos mó.
Níl sé dodhéanta tungstain a phróiseáil trí úsáid a bhaint as plating ian-stua il-.
Tá fuinneamh an-ard ag na spotaí stua i bpróisis stua cathodach; go teoiriciúil, is féidir leo raon leathan de mhiotail ardphointí leáphointe a ghalú, lena n-áirítear miotail teasfhulangacha amhail W, Mo, agus Ta. Ní chiallaíonn sé go bhfuil leáphointe ard ag tungstain nach féidir leis an stua spota é a ghalú.
Mar sin féin, díreach toisc go bhfuil sé indéanta ní chiallaíonn sé go bhfuil sé éasca a bhaint amach.
Is ábhar é tungstain (W) arb é is sainairíonna é pointe leá ard agus cruas ard; dá bhrí sin, tá próisis cosúil le meaisínithe sprioc, clampáil, fuarú, agus cobhsaíocht adhainte stua a chothabháil níos dúshlánaí ná le spriocanna caighdeánacha tíotáiniam (Ti) nó cróimiam (Cr).
Agus sil-leagan il-stua á n-úsáid le haghaidh tungstain, ní mór aird ar leith a thabhairt ar ghluaiseacht spota stua, díothú dromchla sprice, róthéamh logánta, foirmiú cáithníní agus gairbhe dromchla an scannáin.
Is iad na saintréithe atá ag il-stua ná ráta ard ianaithe miotail, fuinneamh láidir taiscí agus dea-fhórsa nasctha, ach tá sé éasca braoiníní agus cáithníní móra a thabhairt freisin.
I gcás spriocanna stua traidisiúnta mar Ti agus Cr, is fadhb choitianta iad cáithníní cheana féin in il-áir. Má chuirtear ábhar leáphointe ard cosúil le W in ionad é, níl an staid spot stua agus an ablation dromchla sprice rialaithe go maith, agus d'fhéadfadh go mbeadh lochtanna dromchla scannáin soiléir freisin.
Mar sin, cé gur féidir teicneolaíocht il-stua a úsáid chun tungstain (W) a thaisceadh, tá sé níos oiriúnaí d’fheidhmchláir a éilíonn dian-bhuamáil ian miotail, greamaitheacht ard, agus atreisiú sraitheanna trasdula nó ualaigh-; ní gá go mbeadh sé oiriúnach chun na sraitheanna dromchla W-DLC an-scagtha a tháirgeadh a éilíonn leibhéil ísle cáithníneacha agus rialú beacht ar ábhar tungstain.
Cén fáth ar fearr le níos mó daoine sputtering maighnéadrón agus W-DLC á dtáirgeadh?
Toisc nach luíonn an eochair do W-DLC ná “tungstan a ionchorprú,” ach le cinneadh a dhéanamh cé mhéad atá le cur leis, cá háit ar cheart é a dháileadh, agus an gcuireann an tsuimiú isteach ar an ngréasán carbóin.
Trí sprioc tungstain sputtered (W) maighnéadrón a úsáid i gcomhar le foinse charbóin ar nós sprioc graifíte, aicéitiléine, meatán nó plasma carbóin eile-tá sé sách éasca cion íseal tungstain a choinneáil, rud a ligeann dó scaipeadh laistigh den mhaitrís DLC mar struchtúir mhíne W-C nó nanaibídí{4}.
Ar an mbealach seo, cuireann an tungstain le cumas iompair ualaigh agus le strus a laghdú, fad is atá an líonra carbóin leanúnach, ag cinntiú go gcaomhnaítear airíonna ísealfhrithchuimilte.
Nuair a úsáidtear foinse tungstain (W) i bpróiseas il-stua, féadann flosc na n-ian miotail tungstain a bheith sách dian, rud a fhágann go n-éireoidh sé ró-ard don ábhar áitiúil tungstain.
De ghnáth cuireann leibhéil arda tungstain foirmiú méideanna suntasacha WC nó W₂C chun cinn, ag glasáil an charbóin go héifeachtach i struchtúir chomhdhúile. Mar thoradh air sin, d’fhéadfadh an sciath a bheidh mar thoradh air a bheith ina tungstan-ina bhfuil bratú crua ilchodach cairbíde seachas sciath DLC íseal-fhrithchuimilte.
I bhfocail eile, cé gur cinnte gur féidir foinse tungstain a úsáid i sil-leagan il-stua, tá an fhuinneog chun ábhar tungstain a rialú níos cúinge agus níos deacra a bhainistiú; ina theannta sin, ní mór aird ghéar a thabhairt ar cháithníní dromchla agus ar leanúnachas an ghréasáin charbóin.
Cá bhfuil an t-il-stua W níos fearr le cur?
Más W{0}}DLC é, is fearr liom il-arc W a thuiscint mar uirlis le haghaidh "ciseal feabhsaithe" nó "ciseal trasdultach", seachas é a úsáid go díreach chun sraith iomlán d'ábhar ard DLC W a dhéanamh.
Mar shampla, gar don tsubstráit, is féidir ciseal trasdula W nó WC a úsáid chun iompar ualaigh agus nascáil a fheabhsú; is féidir grádán W-C a dhéanamh sa lár chun aistriú céimseach ó mhiotal go carbón a cheadú; coinníonn an dromchla is mó fós DLC saibhir carbóin chun frithchuimilt íseal agus frith-ghreamaitheacht a chinntiú.
Tá an dearadh seo níos réasúnach ná ciseal monolithic tungstain (W) a úsáid.
Mura bhfuil an cuspóir íseal-frithchuimilte DLC ach ina chiseal-ard-chiseal-resistant a chaitheamh de W, WC, nó W-C, tá an cur chuige il-stua luachmhar freisin. Tá sé seo amhlaidh toisc go ngineann sil-leagan il-stua{-iain mhiotail ardfhuinnimh, rud a fhágann go mbíonn bratuithe dlúth le greamaitheacht láidir-oiriúnach chun sraitheanna láidre atá in aghaidh caitheamh a chruthú.
Mar sin féin, má tá dromchla thar a bheith mín, cáithníní íosta, agus comhéifeacht frithchuimilte íseal ag teastáil ón gcliant, ba cheart a bheith cúramach agus tú ag brath go hiomlán ar sil-leagan il-stua le haghaidh tungstain.
Má tá tú ag táirgeadh bratuithe W{0}DLC-go háirithe nuair atá an fócas ar fhrithchuimilt íseal, ar-airíonna frithghreamaithe, comhpháirteanna sleamhnáin, nó dromchlaí míne múnlaí-tosaíocht a thabhairt trí úsáid a bhaint as sputtering maighnéadrón nó HiPIMS chun an comhpháirt tungstain (W) a chur i dtaisce, in éineacht le foinse carbóin le haghaidh sil-leagan. Ligeann an cur chuige seo rialú níos fearr ar an ábhar tungstain, cruthaíonn sé dromchla brataithe níos míne, agus déanann sé níos éasca struchtúr an líonra carbóin a chaomhnú.
Más gá duit ciseal trasdula W{0}C a tháirgeadh atá níos tiús, a thairgeann cumas iompair ualaigh níos airde, agus a éilíonn greamaitheacht láidir, b'fhéidir gur mhaith leat úsáid a bhaint as foinse stua W il- nó foinse hibrideach a chomhcheanglaíonn sputtering il-stua agus maighnéadrón.
Má tá sé mar aidhm agat sraitheanna frithchaiteacha de chineál W nó WC a tháirgeadh, is rogha é an modh il-stua freisin, cé go gcaithfidh tú a bheith ullamh chun déileáil le dúshláin ar nós cáithníní, strus inmheánach, díláithriú dromchla sprice agus gairbhe an dromchla.
Mar sin tá an chonclúid simplí:
Is féidir bratuithe tungstain (W) a tháirgeadh ní hamháin trí sputtering maighnéadrón ach freisin trí phlátáil ian-stua.
Mar sin féin, tá sputtering maighnéadrón níos oiriúnaí chun ábhar tungstain a rialú go beacht agus chun dromchla a bhaint amach le híosmhéid cáithníní, ach tá plating il-stua níos fearr chun sraitheanna trasdula W nó W-C a chruthú arb iad is sainairíonna iad ard-ianúchán, greamaitheacht láidir, agus cumas iompair ard -. Is minic go mbíonn straitéis hibrideach i gceist leis an gcur chuige optamach seachas modh amháin a roghnú thar an gceann eile: úsáid a bhaint as ciseal tungstain ag an mbun chun cumas iompair ualaigh a fheabhsú agus ciseal carbóin íseal cuimilte DLC a choinneáil ar an dromchla.
