Is le galú agus sputtering araonsil-leagan fisiceach gaile (PVD). Aistríonn an dá cheann miotail ó bhunábhar go dtí dromchla sampla. Mar sin féin, ní chiallaíonn "a bheith in ann sciath a fhoirmiú" go bhfuil na scannáin mar thoradh ar an gcéanna.
Is féidir na difríochtaí a scrúdú trí aghaidh a thabhairt ar thrí phríomhcheist: Conas a fhágann ábhar an fhoinse? Conas a thaistealaíonn cáithníní trasna an tseomra folúis? Tar éis dóibh an dromchla a bhaint amach, cé mhéad dá gcuid fuinnimh agus faisnéis treorach a choinnítear?
01｜Ná Rush chun comparáid a dhéanamh idir Fiúntais agus Éiginnte - A thuiscint ar dtús conas a Ghintear Miotail
Braitheann galú teirmeach ar bháid, filiméid nó breogáin a théitear go friotaíoch chun an bunábhar a théamh go dtí go bhforbróidh sé dóthain brú gaile.
Úsáideann galú leictreon-léas léas leictreoin fócasaithe chun fuinneamh a chomhchruinniú ar réigiúin logánta den bhunábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d’ábhair a dteastaíonn teocht foinse i bhfad níos airde uathu.
Cé go bhfuil difríocht idir a meicníochtaí téimh, tá an bunphróiseas ina dhiaidh sin comhchosúil: aistríonn an bunábhar isteach sa chéim gháis, téann sé tríd an seomra ísealbhrú i dtreo dhromchla an tsampla níos fuaire, áit a n-ionsú, a núiclítear agus a chomhtháthaíonn sé de réir a chéile i sraith tanaíscannáin.
Ní "fiuchann" sputtering Magnetron an spriocábhar. Tá an gás oibre ar bís chun plasma a fhoirmiú. Faigheann iain fuinneamh in aice leis an dromchla sprice agus bombardaíonn siad an sprioc. Cuireann cascáidí imbhuailte adaimh sprice amach as an dromchla. Ansin téann na cáithníní ejected tríd an ngás oibre agus sroicheann siad an sampla. Is é príomhfheidhm an réimse mhaighnéadaigh ná leictreoin a theorannú ar bhealach níos éifeachtaí in aice leis an spriocdhromchla, rud a chuireann le héifeachtúlacht ianúcháin agus urscaoilte.
Tá tionchar fós ag an bhflosc iarbhír a thaisceadh ar an sampla ag spriocchéimseata, dáileadh réimse maighnéadach, brú oibre, fad sprioc-go-substráit, suíomh daingneáin, agus modh gluaisne an tsampla.
02｜Ní Sonraíocht Feiste í an treoshuíomh, ach Iarmhairt Iompar Cáithníneach
I ngnáthghalú ardfholús, is annamh a bhíonn imbhuailtí gás-chéim idir an fhoinse agus an sampla. Gluaiseann cáithníní beagnach i línte díreacha. Faigheann dromchlaí an tsampla atá os comhair na foinse flosc na gcáithníní go héasca, ach d’fhéadfadh éifeachtaí scáthaithe a bheith ag limistéir atá scáthaithe ag céimeanna nó ag ballaí fótaraonta. Is é seo an "taistíocht líne radhairc".
Mar sin féin, ní de réir an téarma "galú" amháin a chinntear treoshuíomhacht. Athraíonn toisí foinse, fad foinse-go-sampla, uillinn chlaonta an tsampla, scáthú daingneáin, agus modh rothlaithe uile uillinn teagmhais na gcáithníní atá ag teacht isteach. Le socrúchán tsubstráit claonta nó gluaisne phláinéadach, féadann an córas galú céanna feabhas gníomhach a chur ar an gclúdach taoibhbhalla do ghnéithe áirithe.
Éilíonn sputtering sceitheadh leictreach marthanach laistigh de thimpeallacht oibre gáis ar leith. Tar éis do sprioc-adaimh an spriocdhromchla a fhágáil, féadfaidh siad imbhualadh le hadaimh gháis agus a gcuid ruthag a athdháileadh. Ina theannta sin, ní foinse phointe idéalach é an sprioc féin. Mar thoradh air sin, is gnách go seachadann sputtering traidisiúnta dáileadh uilleach níos leithne de cháithníní teagmhasacha chuig an sampla i gcomparáid le galú caighdeánach. Mar sin féin, tá an ráiteas "nach bhfuil aon treo ag sputtering" chomh míchruinn céanna. Má dhéantar an brú oibre a ísliú nó a ardú, an fad idir an sprioc agus an tsubstráit a choigeartú, struchtúir imbhuailte a úsáid, agus an sampla a athshuíomh, modhnaítear minicíocht imbhuailte agus dáileadh uillinne teagmhais. Is féidir le brú níos airde scaipeadh uilleach na gcáithníní a leathnú agus d'fhéadfadh go gcaillfeadh cáithníní atá ag teacht isteach níos mó fuinnimh freisin.
03｜ An Fáth Is Fearr le Próiseas Amháin Éirí Amach Agus Feidhmíonn an Eile Níos Fearr do Chlúdach Céime
Méadaítear difríochtaí i dtreocht nuair a thagann trasna ar struchtúir thríthoiseacha. Is é bunphrionsabal an ardaitheoir as oscailtí patrún sa chiseal fhóta-resist ar dtús, an scannán a thaisceadh thar an tsubstráit iomlán, agus ansin an fótaisintéis a dhíscaoileadh chun an scannán ar bharr an fhriotóra a bhaint le chéile.
Le go n-éireoidh leis an ardú, níor cheart go ndéanfadh an spriocscannán ar an tsubstráit laistigh de na hoscailtí nasc leanúnach leis an scannán ar bharr an fhriotóra feadh na mballaí taobh. Cruthaíonn galú le treo láidir líne radhairc briseadh tiús gar do bhallaí an fhriotóra.
04｜ An Taithí a Shíneann an tsubstráit i bhfad ar shiúl "Níl ort ach a bheith Brataithe le Ciseal Miotail"
Is minic a chuirtear síos go scaoilte ar ghalú mar “mhín”, ach meastar go bhfuil “buamáil láidir” ag sputtering.
Tá bunús fíorasach ag an dá dhearcadh, ach níl ceachtar acu neamhspleách ar choinníollacha trealaimh agus próisis.
Le linn galú, d’fhéadfadh ardú teochta a bheith ar an sampla fós de bharr radaíochta teirmeach, nochtadh foinse teasa, agus fad na sil-leagain.
I gcás córais leictreonléas, ní mór fachtóirí breise amhail leictreoin, X-ghathanna, splancadh bunábhar agus cáithníní a chur san áireamh freisin.
Níor cheart go measfaí go bhfuil polaiméirí, fótaileictreoirí, sraitheanna ísealphointí leáphointe nó gairis atá íogair do radaíocht sábháilte bunaithe ar ainm an phróisis amháin. I dtimpeallacht sputtering, seachas na n-adamh sprice, d'fhéadfadh sreabha ian, leictreon, neodracha frithchaite agus neamhíonachtaí a bheith i láthair freisin. Athraíonn laofacht an tsubstráit, suíomh plasma agus brú oibre an t-ionchur fuinnimh iarbhír a sheachadtar chuig an sampla. Is féidir le fuinneamh measartha imirce dromchla agus nascadh idir-aghaidhe a chur chun cinn, ach d’fhéadfadh ardú teochta, modhnú dromchla, ath-sputtering nó damáiste do shraitheanna íogaire a bheith mar thoradh ar an iomarca fuinnimh.
Mar sin, nuair a bhíonn caoinfhulaingt samplach á phlé, níor cheart go n-iarrfadh duine ach "an bhfuil an teocht ard". Is gá a mheas freisin cad é atá i dromchla an tsampla, cibé acu an bhfuil sraitheanna tanaí ocsaíde nó ábhair dhéthoiseacha thíos, cibé an bhfuil an fótairistéis fós ann, an bhfuil monarú an fheiste iomlán, agus an bhfuil anáil nó glanadh iarphróiseála ceadaithe.
05｜Cén Fáth nach bhfuil “Scannáin Sputtered Denser” ach ina Ráiteas Tosaigh
Ní thagann scannán tanaí síos mar bhloc soladach miotail. Ina áit sin, déanann cáithníní ag teacht isteach adsorb ar dtús agus a núicléasú chun oileáin a fhoirmiú. Fásann agus comhtháthaíonn na hoileáin seo ansin, ag forbairt ina scannán leanúnach sa deireadh. Rialaíonn fuinneamh na gcáithníní ag teacht, teocht an tsubstráit, ráta taisce, uillinn teagmhais, glaineacht dromchla, agus gás iarmharach go léir soghluaisteacht dromchla na gcáithníní, agus modhnaítear méid gráin, porosity, roughness, uigeacht agus strus iarmharach. Is gnách go mbíonn ionchais maidir le soghluaisteacht fheabhsaithe dromchla agus scannáin atá sách dlúth mar thoradh ar na cáithníní sputtered fuinniúla agus na sreabha fuinnimh gaolmhara.
Mar sin féin, is féidir le scannáin sputtered struchtúir colúnacha scagach, strus substaintiúil nó garbh ard a fhorbairt freisin faoi choinníollacha brú ard oibre, caillteanas suntasach fuinnimh imbhuailte, uillinneacha teagmhais neamhfhabhrach, nó coinníollacha dromchla neamhleor. Ní scagach ó dhúchas iad scannáin ghalaithe ach an oiread. Mar an gcéanna athrófar iompraíocht núiclithe agus fáis de bharr modhnuithe ar theocht an tsubstráit, ráta sil-leagan, cóireáil dromchla agus ionchuir fuinnimh chúnta.
Ní aistrítear go huathoibríoch dlús scannáin níos airde go gléasanna a fheidhmíonn níos fearr. Féadfaidh leictreoidí miotalacha tosaíocht níos airde a chur ar fhriotaíocht teagmhála agus sláine imeall; féadfaidh struchtúir optúla díriú níos mó ar gharbh agus ar thairisigh optúla; tá struchtúir ar fuaidreamh an-íogair do strus; tugann sraitheanna bacainní idirleata aird ghéar ar leanúnachas agus ar bhealaí fabhtanna. Níl i "dlúth" ach cur síos ábhartha. I ndeireadh na dála, ní mór feidhmíocht a mheas i gcoinne riachtanais fheidhmiúla an fheidhmchláir tanaíscannáin.
Achoimre
Is féidir le galú agus sputtering miotail a chur i dtaisce, ach ní roghanna brú-chnaipe idirmhalartaithe iad. Déanann galú ábhair a ghalú isteach sa chéim gháis trí théamh agus taispeánann sé treo láidir líne radhairc faoi ghnáthchoinníollacha. Saorann sputtering adaimh sprice trí thuamáil ian; is gnách go mbíonn raon uillinneacha teachta níos leithne ag imbhuailtí laistigh den chéimseata gáis agus trealaimh oibre.
Tá éilimh ar nós "Is fearr galú" nó "sputtering is fearr" roimh am. Ba cheart go míneodh bealach próisis oiriúnach conas a shroicheann cáithníní na gnéithe, sonrófar ann cén suíomh a ndéanfar cigireacht air le haghaidh íosthiús scannáin, cad iad na cineálacha teipeanna a bheidh le réamh-mheas, agus cad iad na critéir deiridh a úsáidfear chun a mheas an bhfuil an fheidhm bheartaithe comhlíonta ag an gciseal tanaíscannáin i ndáiríre.
