Cóireáil roimh {-
{- Glanadh an tsubstráit: Ultrasonach Degreasing + glanadh plasma (cumhacht 50-200W).
{- Clampáil agus Suíomh: Cinntigh go bhfuil an fad idir an tsubstráit agus an fhoinse galúcháin 20-50cm (a théann i bhfeidhm ar aonfhoirmeacht tiús scannáin).
Céim Chraotaithe
{- réamh - Sputtering: Tabhair isteach gás argóin (ráta sreafa 10-50sccm) chun ocsaídí a bhaint ar dhromchla na sprice.
- Príomh -sil -leagan:
{- Cumhdach Galaithe: Ráta 0.1-10nm/s (cumhacht léas léas 5-20kW).
{- Sputtering Magnetron: Ráta sil-leagan 0.01-1μm/min (brú gáis 0.1-1Pa).
3. Post - Cóireáil
{- Annealing agus neartú (céim 200-400, 1-2 uair an chloig) chun greamaitheacht scannáin a fheabhsú (tástáil scratch níos mó ná nó cothrom le 5n).
