Riachtanais timpeallachta oibre an mheaisín sciath i bhfolús

Tagraíonn meaisín sciath i bhfolús go príomha do sciath a chaithfear a dhéanamh faoi fholús ard, lena n -áirítear galú ian i bhfolús, sputtering maighnéad, epitaxy bhíoma mhóilíneach, sil -leagan sputtering léasair PLD agus go leor cineálacha eile. Tá a phríomh -smaoineamh roinnte ina ghalú agus ina sputtering.
Riachtanais timpeallachta oibre an mheaisín sciath i bhfolús:
Ba chóir go n -oibreodh trealamh sciath i bhfolús faoi choinníollacha i bhfolús, mar sin ba chóir don trealamh riachtanais an fholúis a chomhlíonadh don chomhshaol. Is iondúil go n -áirítear le riachtanais na bhfolús don chomhshaol riachtanais trealaimh fholúis do theocht na saotharlainne (nó do cheardlann), aer agus ábhar cáithníneach eile sa timpeallacht máguaird, agus na riachtanais maidir le codanna nó dromchlaí i bhfolús nó i bhfolús.
Tá dlúthbhaint ag an dá ghné seo. Bíonn tionchar díreach ag an timpeallacht máguaird ar ghnáthúsáid trealaimh fholúis; Cibé an bhfuil an seomra folúis nó na codanna atá suiteáilte sa trealamh i bhfolús glan, bíonn tionchar díreach aige ar fheidhmíocht an trealaimh. Má tá a lán gaile uisce agus deannach san aer, tá sé deacair an chéim fholús a bhfuiltear ag súil leis a bhaint amach trí phumpáil le hola - caidéal meicniúil séalaithe gan an seomra folúis a ghlanadh. Tá sé ar eolas go maith nár chóir do ola - caidéil mheicniúla séalaithe gáis a phumpáil amach ina bhfuil deannach cáithníneach atá creimneach do mhiotail agus imoibríoch go hola i bhfolús. Is gás comhdhlúthaithe é gal uisce. Nuair a dhéantar cuid mhór de ghás comhdhlúthaithe a phumpáil amach, beidh truailliú ola caidéil níos tromchúisí. Dá bhrí sin, laghdófar an folús deiridh de na caidéil agus lagafar feidhmíocht phumpála na caidéil.
Is é is brí le deannach i dtimpeallachtaí tionsclaíocha ná comhlachtaí púdaracha, súile gan teideal agus deannach. Is substaint é púdar i staid ina bhfuil comhiomlánú nó scaipeadh púdair nó cáithníní soladacha. Tagraíonn an púdar SO - ar a dtugtar bailiúchán de cháithníní soladacha bídeacha, agus tagraíonn cáithníní do shubstaintí beaga is féidir a chomhaireamh ceann ar cheann. Is córas ábhartha é deatach ina bhfuil cáithníní beaga de sholadach nó leacht i stát ar snámh sa ghás. Tugtar cáithníní deannaigh ar shubstaintí i stát gráinneach, cibé acu soladach nó leacht. Cinntear an caighdeán glaineachta aeir de réir mhéid an cháithníní deannaigh, rud a shaincheapadh grád an tseomra ghlan. Ní hamháin go bhfuil sé infheidhme maidir le hearnálacha tionsclaíocha a bhfuil riachtanais ghlan acu, ach freisin maidir le riachtanais fholús do thimpeallachtaí glana.